วัดเหยาสร้างขึ้นในสมัยราชวงศ์จิน และต่อมาได้มีการขยายตัวอย่างต่อเนื่อง ด้านหน้าของวัดมีบ้านหันทิศตะวันออก ศาลากวงเทียน ศาลาเหยาจิง ด้านหลังมีวังเหยา พระราชวังซู่ พระราชวังหยู และพระราชวังวันซู สุดท้ายคือพระราชวังพระพักตร์ มีบ้านเรือนและลานมากมายทั้งสองด้านของทิศตะวันออกและทิศตะวันตก ตามประวัติศาสตร์วัดเหยามีขนาดใหญ่ที่สุดครอบคลุมพื้นที่มากกว่าเจ็ดร้อยแปดสิบเอเคอร์